2025-11-06 阅读(1)

光刻工艺是半导造中至关重要的一步，它涉及到将图案转移到硅片等基底上。而在光刻工艺中，HMDS（六甲基二硅胺烷）是一种常用的试剂，但其毒性问题备受关注。本文将深入探讨光刻工艺中 HMDS 的毒性及其相关...

2025-11-01 阅读(1)

光刻工艺是现代半导造领域中至关重要的一项技术，它对于芯片的性能和集成度起着决定性作用。在光刻工艺的众多环节和材料中，HMDS扮演着独特且关键的角色。光刻工艺，作为芯片制造的核心步骤，旨在将设计好的电路...