2025-10-16 阅读(5)

光刻技术作为半导造领域的核心技术之一，一直以来都备受关注。它是将掩膜版上的图形转移到半导体晶圆表面光刻胶上的关键工艺，对集成电路的性能、集成度和成本起着决定性作用。随着半导体技术的不断发展，对光刻精度...