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光刻工艺

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光刻工艺作为半导造过程中的核心环节,如同精密的雕刻师,在半导体晶圆上绘制出极其微小而复杂的电路图案,对芯片的性能、集成度和功耗等关键指标起着决定性作用。它是将设计好的芯片电路图案通过光刻设备,利用光刻...