2025-10-05 阅读(3)

光刻工艺作为半导造领域的核心技术之一，在现代科技发展中扮演着至关重要的角色。它是将芯片设计版图精确地转移到半导体衬底上的关键工序，对于集成电路的性能、尺寸和成本有着决定性的影响。光刻工艺的原理基于光学...