光刻技术 立体光束 2025-10-03 阅读(2) 光刻技术作为现代半导造领域的核心技术之一,其重要性不言而喻。它通过精确控制光束,将芯片设计图案转移到半导体晶圆上,为集成电路的制造奠定基础。而立体光束则是光刻技术不断发展中的关键创新点,它为光刻技术带...