2025-10-02 阅读(3)

光刻资讯中，光刻 CDU（Critical Dimension Uniformity）即关键尺寸均匀性，是光刻工艺中的一个重要指标。它直接影响着芯片的性能和良率，对于半导造来说至关重要。本文将详细介绍...

2025-10-02 阅读(3)

光刻技术作为半导造过程中的核心环节，对于集成电路的性能和制造精度起着决定性作用。在光刻工艺中，关键尺寸均匀性（Critical Dimension Uniformity，简称CDU）是一个至关重要的参...