2025-10-02 阅读(3)

光刻设备作为半导造过程中的核心装备，在芯片制造环节扮演着举足轻重的角色。它能够将设计好的集成电路图案精确地刻蚀到半导体晶圆上，其精度和效率直接决定了芯片的性能和生产规模。而光刻机腔体作为光刻设备的关键...