2025-12-20 阅读(3)

光刻设备作为半导造领域的核心装备，其性能优劣直接关乎芯片制造的精度与效率。而光刻机真空系统作为光刻设备中的关键子系统，对于保障光刻工艺的高质量运行起着举足轻重的作用。随着半导体工艺制程不断向更小特征尺...

2025-12-18 阅读(3)

光刻设备是现代半导造领域的核心装备，光刻机真空系统则是其关键组成部分。光刻机真空系统对于光刻工艺的精确性和稳定性起着至关重要的作用。在光刻设备中，光刻机真空系统包含多个重要的子系统。首先是主真空系统，...

2025-10-02 阅读(5)

光刻设备作为半导造过程中的核心装备，在芯片制造环节扮演着举足轻重的角色。它能够将设计好的集成电路图案精确地刻蚀到半导体晶圆上，其精度和效率直接决定了芯片的性能和生产规模。而光刻机腔体作为光刻设备的关键...