2025-10-01 阅读(3)

光刻设备是半导造领域的核心装备，其光刻机真空系统更是关键所在。在光刻过程中，高精度的图案转移依赖于诸多复杂且精密的环节，而真空系统在其中扮演着不可或缺的角色。光刻机真空系统的首要任务是营造一个超洁净的...