2025-10-01 阅读(3)

光刻技术是一种微纳加工技术，通过光化学反应在光刻胶上形成图案，然后通过刻蚀等工艺将图案转移到基底材料上。光刻技术在半导造、微机电系统（MEMS）、平板显示等领域有着广泛的应用。光刻技术的发展历程可以追...