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正胶 光刻

光刻工艺

光刻的正胶反胶

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光刻工艺是半导造中至关重要的一环,而光刻的正胶和反胶在其中扮演着不同的角色。正胶和反胶的特性差异影响着光刻图案的形成和质量,对半导体器件的性能有着深远的影响。光刻工艺是通过光化学反应将光刻胶图案转移到...