光刻工艺 光刻胶正胶和负胶 2025-09-29 阅读(2) 光刻工艺是半导造中至关重要的一步,而光刻胶正胶和负胶在其中发挥着不同的作用。光刻胶正胶在曝光后会发生化学变化,而未曝光的部分在显影过程中被去除;负胶则相反,曝光部分在显影后保留,未曝光部分被去除。这两...