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光刻胶正胶和负胶的特点

光刻工艺

光刻胶正胶和负胶

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光刻工艺是半导造中至关重要的一步,而光刻胶正胶和负胶在其中发挥着不同的作用。光刻胶正胶在曝光后会发生化学变化,而未曝光的部分在显影过程中被去除;负胶则相反,曝光部分在显影后保留,未曝光部分被去除。这两...