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光刻工艺中正胶和负胶的区别是什么

光刻工艺

光刻工艺中正胶和负胶的区别是什么?

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光刻工艺是集成电路制造中至关重要的一步,它决定了芯片图案的精度和质量。在光刻工艺中,正胶和负胶是两种常用的光刻胶,它们在化学性质、曝光原理、显影方式等方面存在着明显的区别。正胶是一种在曝光后可以溶解于...