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光刻工艺中正胶和负胶的区别是什么?

光刻工艺中正胶和负胶的区别
光刻工艺

光刻工艺中正胶和负胶的区别

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光刻工艺是现代半导造中至关重要的一环,它决定了芯片上电路的精细程度和性能。在光刻工艺中,正胶和负胶是两种常用的光刻胶材料,它们在性质、工作原理和应用场景等方面存在着显著的区别。正胶,全称正性光刻胶,是...