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浸润式光刻机发明人是谁

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光刻技术

浸润式光刻机发明人

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光刻技术作为现代半导造领域的核心技术之一,对推动芯片产业的发展起到了至关重要的作用。在光刻技术的发展历程中,浸润式光刻机的发明堪称具有里程碑意义的重大突破,而其发明人林本坚更是功不可没。林本坚出生于越...