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光刻设备和光刻系统的关系

光刻设备和光刻系统
光刻设备

光刻设备和光刻系统

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光刻设备是半导造过程中至关重要的工具,它能够将设计好的电路图案精确地转移到硅片等基板上。光刻设备和光刻系统紧密相连,共同构成了半导造的核心环节。光刻设备的工作原理基于光的光刻技术。通过特定波长的光源,...