2026-02-02 阅读(1)

光刻技术在现代半导造等领域起着至关重要的作用，而光刻过程中所涉及的各种材料和操作都有着其独特的特性和潜在影响。其中，光刻hmds（六甲基二硅氮烷）作为光刻工艺中的一种常用材料，其可能带来的危害也备受关...