光刻工艺 光刻技术的工艺流程有哪些 2026-01-31 阅读(2) 光刻工艺是现代半导造中至关重要的一环,它决定了芯片上电路的精细程度和性能。光刻技术的工艺流程涵盖多个步骤,每个步骤都对最终芯片的质量起着关键作用。光刻工艺的第一步是光刻胶的涂覆。首先要对晶圆进行清洁处...