2026-01-25 阅读(2)

光刻设备在现代半导造领域占据着核心地位，它是将芯片设计图案精确转移到半导体晶圆上的关键工具。随着芯片制程不断向更小的尺寸迈进，对光刻设备的精度和性能要求也日益严苛。光刻机仿真作为研究光刻过程、优化光刻...