2026-01-14 阅读(4)

光刻设备与光刻工艺仿真实验在半导造领域具有至关重要的地位。通过本次实验，我们深入探究了光刻设备的工作原理以及光刻工艺的具体流程，并借助仿真手段进行了细致分析。实验伊始，我们对光刻设备的各个组成部分有了...