2026-01-12 阅读(3)

光刻设备与光刻工艺仿真实验是半导造领域中至关重要的环节，对于深入理解和优化芯片制造过程具有关键意义。本次实验旨在通过对光刻设备及工艺的仿真模拟，全面探究光刻技术的原理、流程及相关参数对光刻效果的影响。...