2026-01-06 阅读(3)

光刻设备中的光刻机chuck，是整个光刻过程中极为关键的部件。它犹如一个精准且稳定的基石，承载着待加工晶圆，为光刻工艺的高精度操作提供坚实保障。光刻机chuck具备高精度的定位能力。在光刻过程中，晶圆...