2026-01-06 阅读(3)

光刻设备作为半导造领域的核心装备，在芯片制造过程中扮演着至关重要的角色。它的主要功能是将掩膜版上的集成电路图案通过光刻技术精确地转移到半导体晶圆表面的光刻胶上，从而为后续的蚀刻、离子注入等工艺奠定基础...