2025-12-24 阅读(5)

光刻设备作为半导造的核心装备，其光刻机真空系统原理至关重要。在半导体芯片制造过程中，光刻环节是将芯片设计图案精准转移到半导体晶圆上的关键步骤，而光刻机真空系统则为这一过程提供了稳定且精确的环境保障。光...