2025-12-23 阅读(4)

光刻设备作为半导造领域的核心装备，对芯片制造的精度和效率起着决定性作用。而光刻机中的真空系统更是关键组成部分，它为光刻过程提供稳定的真空环境，确保光刻的高精度和高质量。一旦真空系统出现故障，将直接影响...