2026-01-25 阅读(2)

光刻设备在现代半导造领域占据着核心地位，它是将芯片设计图案精确转移到半导体晶圆上的关键工具。随着芯片制程不断向更小的尺寸迈进，对光刻设备的精度和性能要求也日益严苛。光刻机仿真作为研究光刻过程、优化光刻...

2025-12-23 阅读(4)

光刻设备作为半导造领域的核心装备，对芯片制造的精度和效率起着决定性作用。而光刻机中的真空系统更是关键组成部分，它为光刻过程提供稳定的真空环境，确保光刻的高精度和高质量。一旦真空系统出现故障，将直接影响...