2025-12-18 阅读(3)

光刻设备是现代半导造领域的核心装备，光刻机真空系统则是其关键组成部分。光刻机真空系统对于光刻工艺的精确性和稳定性起着至关重要的作用。在光刻设备中，光刻机真空系统包含多个重要的子系统。首先是主真空系统，...