2025-12-08 阅读(0)

光刻技术作为半导造过程中的核心环节，对于芯片的性能和集成度起着决定性作用。在光刻工艺中，有一个重要的参数——光刻景深（DOF），它直接影响着光刻图案的质量和精度。了解光刻DOF的计算方法，对于优化光刻...