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光刻机的工作原理及关键技术

光刻技术

光刻机成像原理图

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光刻技术是半导造中至关重要的工艺之一,而光刻机则是实现光刻技术的关键设备。光刻机成像原理图揭示了其工作的基本原理和过程,对于理解光刻技术的重要性和应用具有重要意义。光刻技术是一种通过光化学作用将图案转...