2026-01-06 阅读(3)

光刻设备中的光刻机chuck，是整个光刻过程中极为关键的部件。它犹如一个精准且稳定的基石，承载着待加工晶圆，为光刻工艺的高精度操作提供坚实保障。光刻机chuck具备高精度的定位能力。在光刻过程中，晶圆...

2025-11-09 阅读(2)

光刻技术作为现代半导造领域的核心技术之一，对于推动芯片产业的发展起着至关重要的作用。而在光刻技术中，光刻机用的镜片更是关键部件，其性能直接影响光刻的精度和质量。光刻技术是一种通过光刻胶将芯片设计图案转...