2025-11-05 阅读(2)

光刻设备作为半导造过程中的核心装备，对于芯片的性能、集成度等起着决定性作用。光刻技术的精度直接影响着芯片上晶体管等元器件的尺寸，进而影响芯片的运算速度和功耗等关键指标。随着半导体产业的不断发展，对光刻...