2025-10-31 阅读(8)

光刻工艺是一种精密的微纳加工技术，在半导造、集成电路生产等领域发挥着至关重要的作用。它通过光化学反应将图案转移到光刻胶上，为后续的刻蚀、离子注入等工艺提供精确的模板。光刻工艺的历史可以追溯到 20 世...