2025-10-29 阅读(3)

光刻工艺是集成电路制造中的关键步骤，它在芯片生产过程中起着至关重要的作用。光刻工艺主要是利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形。在半...